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四氟化碳|CF4

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  • 包裝要求:包裝說明:40L鋼瓶30kg/瓶
  • 采購情況:長期有效
  • CAS NO.::75-73-0
  • 產品純度::99.999%
  • 包裝說明:40L鋼瓶30kg/瓶
  • 所在地:廣東深圳市
  • 發(fā)布日期:2021-09-03 22:30
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產品名稱: 四氟化碳
其他名稱: 四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride
分子式: CF4
UN No. UN1956
CAS No. 75-73-0
產品純度:99.99~99.999%
包裝說明:47L DOT鋼瓶,鋼瓶尺寸23 × 130cm,316L SS材質閥門,閥門型號CGA660;40L高壓無縫鋼瓶,凈重30kg/瓶,瓶頭閥是銅質閥門是QF-2,出口螺紋是G5/8
產品說明
四氟化碳在常溫常壓下是無色無臭有輕微醚味,較易揮發(fā)的不燃燒的壓縮氣體,是化學性質非常穩(wěn)定的有機物。充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000 psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在硅和二氧化硅體系中,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得451的選擇性。在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性,四氟化碳可用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等;還可用于塑料行業(yè);如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。
產品應用

用于電子器件表面清晰、印刷電路生產中的去污劑
CF4是良好的電氣絕緣和滅弧材料,可作為變壓器、電力開關的絕緣氣體
用于微電子工業(yè)的等離子蝕刻
用于太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)
用于金屬冶煉,例如:銅、不銹鋼,碳鋼、鋁、蒙乃爾等
用于塑料行業(yè),如:合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯
由于四氟化碳的溶氧性很好,所以被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣
高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻
注意事項
四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名,注意驗瓶日期,先進倉的先發(fā)用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。泄漏時,應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處,并進行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。如有可能,即時使用。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
四氟化碳的物理化學性質
分子量:88.005
熔點(101.325kPa):    -186.8℃
沸點(101.325kPa):    -128.0℃
液體密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m3
氣體密度(0℃,101.325kPa):    3.946 kg/m3
相對密度(氣體,0℃,101.325kPa):  3.05
氣液容積比(15℃,100kPa):436 L/L
比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
臨界溫度:    -45.6℃
臨界壓力:    3739kPa
臨界密度:    629kg/m3
壓縮系數:

溫度℃
壓縮系數
100kPa
1000kPa
5000kPa
10000kPa
1 5
0.9981
0.9763
0.7832
0.6058
50
0.9988
0.9866
0.8717
0.7637


熔化熱(-186.8℃):    7.609 kJ/kg
氣化熱(-127.94℃,101.325kPa):  135.65 kJ/kg
比熱容(氣體,25℃,101.325kPa):Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比熱比(氣體,25℃,101.325kPa):Cp/Cv=1.157
蒸氣壓(-180.65 C):0.20 kPa
(-120℃):    165 kPa
(-50℃):    3220 kPa
粘度(101.325kPa,0℃,氣體):0.0161 mPa·S
(-60.0℃,液體):0.170 mPa·S
表面張力(-80.0℃):    6.4 mN/m
導熱系數(101.325kPa,0℃):0.01503 w/(m·K)
(液體,-60.0℃):0.07196 w/(m·K)
折射率(-73℃):    1.151
四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體??諝庵胁蝗紵潜容^穩(wěn)定的無毒物質。但是在高溫時,或與可燃氣體一同燃燒時,分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰基氟。微溶于水,在25℃,101.325kPa時,水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。
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